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儀器儀表維修

通快Trump霍廷格射頻維修TruPlasma DC3030 高頻電源修理快

發(fā)布者:變頻器維修部    來(lái)源:上海仰光電子工程部     發(fā)布時(shí)間:2021-5-20

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  通快霍廷各射頻電源維修常見故障如下:

供電電源的噪聲干擾
射頻電路對(duì)于電源噪聲相當(dāng)敏感,尤其是對(duì)毛刺電壓和其他高頻諧波。微控制器會(huì)在每個(gè)內(nèi)部時(shí)鐘周期內(nèi)短時(shí)間突然吸入大部分電流,這是由于現(xiàn)代微控制器都采用CMOS工藝制造。

因此,假設(shè)一個(gè)微控制器以lMHz的內(nèi)部時(shí)鐘頻率運(yùn)行,它將以此頻率從電源提取電流。

如果不采取合適的電源去耦,必將引起電源線上的電壓毛刺。如果這些電壓毛刺到達(dá)電路RF部分的電源引腳,嚴(yán)重時(shí)可能導(dǎo)致工作失效。

不合理的地線
如果RF電路的地線處理不當(dāng),可能產(chǎn)生一些奇怪的現(xiàn)象。對(duì)于數(shù)字電路設(shè)計(jì),即使沒(méi)有地線層,大多數(shù)數(shù)字電路功能也表現(xiàn)良好。而在RF頻段,即使一根很短的地線也會(huì)如電感器一樣作用。

粗略地計(jì)算,每毫米長(zhǎng)度的電感量約為l nH,433 MHz時(shí)10 toni PCB線路的感抗約27Ω。如果不采用地線層,大多數(shù)地線將會(huì)較長(zhǎng),電路將無(wú)法具有設(shè)計(jì)的特性。

射頻激光管不出光?
在水路通暢激光電源正常啟動(dòng)的情況下首先測(cè)激光電源直流48v是否正常;激光管25針插件的 4腳和13腳的導(dǎo)通情況能導(dǎo)通表明水保護(hù)信號(hào)正常,不能導(dǎo)通檢查水保護(hù);測(cè)7腳和20腳的電壓情況不按預(yù)調(diào)或者開始時(shí)直流電壓在4到5V左右,按預(yù)調(diào)或開始在1到3v左右為正常信號(hào)(低電平導(dǎo)通)。若水、電源和這兩個(gè)信號(hào)都正常一般可以判斷是激光管故障。若信號(hào)不正常則說(shuō)明是板卡問(wèn)題或者是電路問(wèn)題。

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1、半導(dǎo)體制造、LED光電材料、太陽(yáng)能、平板顯示、汽車電子等行業(yè)的離子注入、擴(kuò)散、光刻、PVD物理氣相沉積,CVD 化學(xué)氣相沉積,PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣象沉積,濺射薄膜、蝕刻 等工藝。
 

2、 HV PSU高壓電源、DC PSU大功率直流電源、RF Generator射頻電源、MICROWAVE POWER SOURCEAE微波發(fā)生器、觸摸屏人機(jī)界面、PCB板,涉及設(shè)備品牌有AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、DAIHEN、SEREN、Glassman、 


      Spellman、LAMBDA、SORENSEN、Delta、AMAT、Nikon、Varian、Lam、Nissin、ASML等。


3、維修機(jī)臺(tái)涉及Lam9400、Lam9100、Varian E500,、Varian E200、AMAT PI9500、PI9200、XR80,  Nissin 

       Exceed2000AH、Axcelis/EATON NV6200、PVD、CVD、PECVD、濺射鍍膜設(shè)備等



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